用抛光液的超精密抛光技术作为制造业发展的标志之一，已深入到了航空航天、军事、集成电路、民用设备等诸多领域。但目前国内发展水平仍处于较低阶段，对抛光原理了解不够深入，加工过程也过多的依赖经验，效率低下。本文受“先进制造技术与装备”东莞市重中之重学科项目资助，运用抛光液虚拟样机这一近年来得到迅速发展和广泛运用的先进制造技术对超精密双面抛光机的机械去除作用进行了深入分析。重点研究了抛光工艺参数、加工工件的运动特性以及抛光结果三者间的关系。
主要研究内容如下：
针对化学机械抛光的影响因素，和双面抛光机的结构功能特点，在理论分析的基础上，采用三维实体建模软件SolidWorks与动力学分析软件ADAMS联合建模，定义了抛光机构的虚拟样机。
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