抛光液的运输及保存
1、运输与存放温度为5ºC～50ºC。存放时应避光，以避免浆料变质。
2、保质期一年，建议半年内使用。
3、避免金属、颗粒污染，避免与强电解质的接触。
抛光液在抛光中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。与美国和日本的同类产品相比，该产品采用无金属离子、易溶于水的螯合剂，有效控制晶片表面的各种沾污，主要参数指标上均能满足IC要求。
